인피니트시마 메트론3D
[아이티비즈 박채균 기자] 반도체 산업 첨단 계측 솔루션 기업인 인피니티시마는 SK하이닉스가 메트론(Metron)3D 300mm 인라인(in-line) 웨이퍼 계측 시스템을 채택하여 대량 생산에 적용했다고 9일 발표했다.
메트론3D는 SK하이닉스의 차세대 메모리 디바이스 제조에 필수적인 서브 나노미터 정확도의 3차원(3D) 공정 제어를 제공한다.
이번 SK하이닉스의 양산 라인 적용은 여러 공정 단계에 대한 시스템 특성화 작업을 포함한 광범위한 평가를 거친 후 이루어졌다.
SK하이닉스의 최영현 DMI(결함 분석, 계측 및 검사 기술) 담당 선임은 “나노미터 수준에서의 3차원 공정 제어는 첨단 DRAM 공정에서 고수율을 보장하는 데 있어서 점점 더 중요해지고 있다. 인피니티시마의 메트론3D는 HVM 구현에 필요한 비용 효율성을 갖춘 우수한 서브 나노미터 3D 계측 성능을 입증했다”고 말했다.
메트론3D는 통상적인 AFM 처리량보다 10배에서 100배의 AFM 계측 능력을 제공하는 인피니티시마 고유의 RPMTM(Rapid Probe MicroscopeTM) 기술을 특징으로 한다. 또한 이 시스템은 완전 자동화된 웨이퍼, 데이터, 프로브 핸들링 기능을 지원해 반도체 디바이스의 인라인 대량 생산에 최적화되어 있다. 이 계측 솔루션에 대한 투자는 SK하이닉스가 컴퓨터 메모리의 개발 및 제조 분야에서 기술 리더십을 유지하기 위해 얼마나 노력하고 있는지를 잘 보여준다.
인피니티시마의 피터 젠킨스 회장 겸 CEO는 “SK하이닉스와 협력하게 돼 메트론3D 시스템이 신속히 품질 평가를 마치고 HVM에 채택될 수 있었다”고 말했다.
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