[르포] 강풍 맞고 웨이퍼에 회로 '쓱쓱'...어린이 반도체 연구원이 된 30분

도쿄일렉트론코리아, 키자니아 최초 'TEL 반도체 드림랩' 공개 포토·식각·클리닝·증착 공정을 게임으로 체험...로봇 '칩스'의 꿈 완성 [아이뉴스24 황세웅 기자] 서울 송파구 키자니아 서울. 방진복을 갖춰 입고 고글을 착용한 뒤 들어서자 사바에서 거센 바람이 쏟아졌다. 약 7초 간의 에어샤워를 마치고 문일 열리자, 반도체 장비를 본뜬 연구 공간이 눈 앞에 펼쳐졌다.27일 서울 송파구 키자니아 서울에서 공식 개소를 하루 앞둔 '도쿄일렉트론코리아(TEL) 반도체 드림랩'이 언론에 먼저 공개됐다.키자니아에 위치한 TEL의 반도체 드림랩. [사진=황세웅 기자]TEL이 마련한 이곳은 전 세계 키자니아 가운데 처음으로 조성된 반도체 체험관이다. 어린이들이 반도체 장비 연구원이 돼 포토·식각·클리닝·증착 등 주요 제조 공정을 직접 수행하며 반도체 산업과 엔지니어의 역할을 경험할 수 있도록 꾸몄다.실제 반도체 제조 현장에서 착용하는 클린수트와 고글을 갖추고 들어가는 방식으로 구성해 반도체 공정에서 청정 환경이 왜 중요한지 자연스럽게 이해하도록 했다.엄재은 키자니아 슈퍼바이저는 "반도체는 아주 작은 먼지에도 고장이 날 만큼 예민하다"며 "몸에서 나오는 먼지나 정전기가 반도체에 닿지 않도록 클린수트를 입는 것"이라고 설명했다.웨이퍼를 투입하는 장면. [사진=황세웅 기자]연구실에 들어서자 가장 먼저 반도체가 만들어지는 기본 과정이 소개됐다. 모래에서 실리콘을 추출하고, 이를 원기둥 형태의 잉곳으로 만든 뒤 얇게 잘라 웨이퍼를 만드는 과정이 실제 전시물과 함께 펼쳐졌다.아무런 무늬가 없는 베어웨이퍼가 수많은 공정을 거쳐 복잡한 회로가 새겨진 패턴 웨이퍼로 변하는 과정도 확인할 수 있었다.엄 슈퍼바이저가 "자동차 한 대에는 반도체가 몇 개 들어갈까요"라고 묻자 참가자들의 답이 이어졌다. 정답은 약 3000개.스마트폰과 태블릿, 자동차, 비행기, 로봇 등 일상 곳곳에서 반도체가 사용되고 있다는 설명에 관람자들의 관심이 이어졌다.이날 체험의 임무는 식당 서빙 로봇 '칩스'를 세계적인 댄서로 만드는 것이었다. 정해진 동작만 할 수 있고 에너지가 부족한 칩스의 성능을 개선하기 위해 참가자들이 직접 반도체 제조 공정을 수행하는 설정이다.직접 체험한 첫 공정은 포토(Photo) 공정이었다. 화면 속 웨이퍼 위에 브러시를 움직여 감광액을 고르게 바르고, 극자외선(EUV) 노광 버튼을 누르자 희미했던 회로 패턴이 모습을 드러냈다. 현상 과정을 ...