중국 반도체 '새 장정' 7년…DUV 장비 자립 시동

박지은 기자 입력 2026.07.30 09:16 자체 침지형 노광장비 양산…장비 국산화 초읽기 배터리·디스플레이 이어 반도체도?…韓 '장기전' 전문가·IB "기술 검증 없어…과도한 우려" 분석도 [아이뉴스24 박지은 기자] 중국 장시성 간저우시 위두현에는 중국 공산당의 '대장정(長征)' 출발지를 기리는 기념공원이 있다. 1934년 마오쩌둥이 이끈 홍군은 국민당군의 포위를 피해 1년 넘는 행군 끝에 살아남았고, 훗날 정권 수립의 발판을 마련했다.2019년 5월 미국이 화웨이 제재를 본격화하자 시진핑 중국 국가주석은 이곳을 찾아 "우리는 새로운 장정을 시작하고 있다"고 선언했다. 미국과의 장기 기술 경쟁에 대비해 반도체를 비롯한 핵심 산업의 해외 의존도를 낮추겠다는 의미였다.7년이 지난 지금 중국은 메모리와 파운드리에 이어 반도체 노광장비의 자립을 시도하고 있다.시진핑 중국 국가 주석 [사진=UPI /연합뉴스]ASML보다 주목받은 '반도체 생태계'29일 로이터 통신에 따르면 중국 국유기업 상하이 아이성나전자기술그룹은 자체 개발한 침지형 심자외선(DUV) 노광장비를 생산하고 있다.올해 약 5대, 내년 약 20대를 생산해 SMIC와 화훙반도체, 창신메모리(CXMT) 등에 공급할 계획이다.DUV는 웨이퍼 위에 회로를 새기는 핵심 장비다. 가장 첨단인 극자외선(EUV) 장비보다는 한 세대 이전 기술이지만 다중 패터닝을 적용하면 첨단 공정에도 활용할 수 있다. 다만 생산성과 정밀도, 수율은 아직 검증 단계다.뱅크오브아메리카(BofA)는 중국이 내년 목표 물량을 모두 생산하더라도 ASML 매출 감소 규모는 전체의 2.4% 수준에 그칠 것으로 분석했다.업계 역시 이번 소식을 ASML 추격보다 중국 반도체 공급망의 마지막 퍼즐을 하나 더 채웠다는 의미로 해석하고 있다.상하이증권거래소에 올라온 CXMT 최종 IPO 투자설명서. [사진=상하이증권거래소]SMIC·CXMT 이어 장비까지…공급망 채우는 중국미국의 수출 규제 이후 중국은 반도체 설계와 제조, 메모리, 장비를 국가 전략산업으로 육성해왔다.파운드리에서는 SMIC, D램에서는 CXMT, 낸드플래시에서는 양쯔메모리(YMTC)가 성장했고, 식각·증착 장비에 이어 DUV 노광장비까지 국산화에 나서며 공급망을 단계적으로 구축하고 있다.이번 DUV 양산을 주도한 아이성나는 설립 3년도 채 되지 않은 신생 기업이다.업계에서는 기존 제재 대상 기업에 집중됐던 연구개발 역량과 인력을 새로운 ...