신성이엔지, 자체 개발 제습모듈 'EDM' 납품 2년 만에 100대 출하

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반도체 장비·소재 기업 공급 확대…연내 3세대 초소형 모델 개발 추진

[아이뉴스24 권서아 기자] 신성이엔지가 자체 개발한 반도체 공정용 제습 모듈 'EDM(Equipment Dehumidify Module)' 누적 출하량 100대를 달성했다.

이는 2023년 개발을 완료하고 2024년 첫 납품을 시작한 지 약 2년 만이다.

EDM 100호기 출하기념식 [사진=신성이엔지]

EDM은 파티클(미세입자) 필터링과 제습 기능을 하나의 모듈에 통합한 장비다.

반도체와 드라이룸 등 제조공정에서 사용되며, 고성능 제습 로터를 통해 최대 5%상대습도(RH) 수준까지 정밀하게 제어할 수 있다.

실시간 습도 감지 센서와 자동 제어 시스템을 적용해 공정 중에도 안정적인 제습 환경을 유지하는 것이 특징이다.

신성이엔지는 반도체 공정에서 습도가 수율(정상품 비율)을 좌우하는 핵심 조건이라는 점에 주목해 자체 기술로 EDM을 개발했다.

현재 국내 주요 반도체 장비·소재 기업에 제품을 공급하고 있으며, 이번 100대 출하를 계기로 공급처를 확대할 계획이다.

김동권 신성이엔지 클린환경연구실장은 "1세대에 이어 2세대 슬림·모듈형 제품까지 현장 적용을 완료했다"며 "올해는 3세대 초소형 EDM 개발을 마무리하고 반도체를 넘어 다양한 산업 분야로 적용 범위를 확대해 나갈 것"이라고 말했다.

한편 1977년 설립된 신성이엔지는 반도체·디스플레이 생산환경 구축을 위한 클린룸(청정실)과 드라이룸, 에너지 솔루션 사업을 하고 있다.

/권서아 기자(seoahkwon@inews24.com)

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