자이스 "中 EUV, ASML 따라잡는 데 15년…수출규제는 역효과"

로문트 CEO "15년은 합리적 추정…中 진척도 측정 어려워" DUV 추가 통제엔 "긍정적 효과 없어…中 혁신 앞당길 뿐" 자이스, ASML EUV 광학계 공급…삼성·SK도 장비 써 [아이뉴스24 권서아 기자] 세계 유일 극자외선(EUV) 노광장비 업체인 네덜란드 ASML의 핵심 파트너 독일 자이스가 중국의 EUV 장비 자립까지 약 15년이 걸릴 것으로 내다봤다. 미국이 대중국 반도체 장비 수출통제를 더 강화할 경우 오히려 중국의 자체 기술 개발을 앞당길 수 있다는 경고도 내놨다.3일 블룸버그 등에 따르면 프랑크 로문트 자이스그룹 반도체사업부 대표(CEO)는 대만에서 열린 '세미콘 타이완' 현장에서 블룸버그TV와 인터뷰를 갖고 중국이 EUV 노광장비를 자체 개발하는 데 15년이 걸릴 것이란 전망에 대해 "합리적인 추정"이라고 말했다.ASML 기술자가 EUV 장비를 살펴보는 장면. [사진=ASML]다만 중국의 실제 기술 개발 수준에 대해서는 "기술 발전 속도를 정확히 가늠하기 어렵다"는 취지로 설명했다.EUV는 극도로 짧은 파장의 빛을 이용해 웨이퍼(반도체 원판)에 미세한 회로를 그리는 장비다. 첨단 인공지능(AI) 반도체와 선단 메모리 공정에 필수적인 설비로 현재 네덜란드 ASML이 전 세계에서 유일하게 공급하고 있다.자이스는 ASML EUV 장비의 핵심인 초정밀 광학계를 공급하는 업체다. EUV 빛을 모으고 반사해 웨이퍼에 미세 패턴을 구현하는 광학 시스템을 담당한다. ASML도 자이스 SMT 지분 24.9%를 보유하고 있을 정도로 협력 관계가 깊다.삼성전자(왼쪽), SK하이닉스 사옥 전경. [사진=각 사]삼성전자와 SK하이닉스도 반도체 생산에 ASML의 EUV 장비를 활용하고 있다. 삼성전자는 메모리와 반도체 위탁생산(파운드리) 선단공정에 EUV를 적용하고 있다. SK하이닉스도 첨단 D램 공정을 중심으로 EUV 적용을 확대하고 있다. 두 회사가 사용하는 ASML EUV 장비에도 자이스의 광학 기술이 들어가는 구조다.로문트 CEO는 중국이 EUV보다 상대적으로 한 단계 낮은 심자외선(DUV) 노광장비 개발에 속도를 내는 데 대해서도 언급했다. 중국이 수십년간 관련 기술을 연구해온 만큼 최근 기술 진전 자체는 놀라운 일이 아니라는 평가다.그는 중국산 DUV 장비에 대해 "이제 이 장비들이 실제로 어느 정도 성능을 내는지 지켜볼 일"이라며 "우리가 여전히 훨씬 앞서 있다"고 말했다.미국의 추가적인 대중국 수출통제...